آنچه که در اچینگ کواتز در مقیاس میکرو مهم است گزینش پذیری فرآیند اچینگ است. برای اعمال گزینش پذیری از اعمال کنترل در دو فاکتور میبایست سود جست:
الف- اعمال پوشش مناسب برای قسمتهایی که نباید در فرآیند اچینگ شسته شود
ب- محیط بهینه اچینگ (که خود شامل شرایط مختلفی مانند نوع محلول اچینگ، غلظت محلول اچینگ، مواد افزودنی در محلول اچینگ و دست آخر دمای اعمال شده در فرآیند اچینگ).
برای اعمال پوشش مناسب مناسب برای قسمتهایی که نباید در فرآیند اچینگ شسته شود ابتدا باید قالبهای فلزی مناسبی متناسب با شکل و اندازه قسمتهای مذکور تهیه کرد. این قالب میباست از جنس استیل مقاوم به شرایط اسیدی و بازی باشد. در ادامه توسط پوششهای پلیمری مقاوم از جمله پلیمرها و چسبهای اپوکسی و با استفاده از قالبهای مذکور میبایست قسمتهای مذکور پوشده شود. لازم است از پلیمرهایی استفاده کرد که علاوه بر مقاومت در شرایط اچینگ به راحتی پس از فرآیند اچینگ از روی قسمت مذکور برداشته شود. پلیمرهای مختلفی در این مرحله میتوان استفاده کرد که در دسترسترین و ارزانترین آنها چسبهای اپوکسی است
متقاضی فناوری هستم
نقد و بررسیها
هیچ دیدگاهی برای این محصول نوشته نشده است.